半导体电子表面微量异物分析研究步骤

常见产品及检测设备

       1. 湿电子化学品

       指主体成分纯度大于 99.99%，杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂，是重要的电子材料，华瑞测可以通过ICP-MS、MS、IC、对湿电子化学品的纯度及杂质做出准确测定。 常用设备：ICP-MS、MS、IC。

       2. 溅射靶材

       溅射靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等；亦可应用于玻璃镀膜领域；还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业，海怀检测可以通过GD-MS、IC等手段对靶材进行纯度及杂质做出准确测定。 常用设备：GD-MS、IC。

       3. 晶圆

       指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料主要是是硅，海怀可以通过VPD-ICP-MS、MS、IC等对晶圆表面的污染物做出准确测定。 常用设备：VPD-ICP-MS、MS、ICP-MS、IC。